پایان نامه کارشناسی ارشد بنویسید-تحقیق کلی میکرو آینه ها و مفاهیم کلیات تکنولولوژی میکروماشین MEMS
پایان نامه کارشناسی ارشد بنویسید-تحقیق کلی میکرو آینه ها و مفاهیم کلیات تکنولولوژی میکروماشین MEMS
سیستم های الکترومکانیکی عموما بر اساس نوع مکانیزم تحریکشان طبقه بندی میشوند.یکی از مهمترین مکانیزم تحریک این سیستم ها تحریک الکترواستاتیک میباشد.مطالعه میکرو حسگرها و میکرو محرک ها که به وسیله نیروی الکترواستاتیک تحریک میشوند به دلیل مزایای بسیارشان که آن ها را تبدیل به بخش اصلی بسیاری از سوئیچ ها، میکروآینه ها و …. از اهمیت زیادی برخوردار است….
