فایلی کاربردی و دقیق درباره تحقیق درباره حکاکی ۱۵ ص

تحقیق درباره حکاکی ۱۵ ص

حکاکی لایه نازک SiO2
حکاکی لایه نازک Si3N4
حکاکی قربانی ( sacrificial )
انواع سنسورها به طور عمودی
Piezoresistor ها
سنسورهای پیزو الکتریک
سنسورهای خازنی
سنسورهای نوری
سنسورهای تشدیدی
میکرو سنسورها
حکاکی لایه نازک SiO
حکاکی لایه نازک Si
ساختار پایه ( Basic structures )
در میکرو ماشینینگ توده ای سیلیکون
۲ در میکروماشینینگ سطحی
Excimer Laser Micro Machining
سنسورها
۱ سنسور فشار
سنسور فشار مبتنی بر مقاومت پیزو
۲ سنسور فشار خازنی
۳ سنسور فشار تشدیدی
۲ شتاب سنج…